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関連製品
ディフロテック 製品とサービス Difrotec
Difrotecディフロテック
製品とサービス
超高精度干渉計とカスタム光学ソリューション
概要
インターフェロメトリは、高精度でサーフェスマップを取得する際の最初の光学計測法です。ディフロテックは、インターフェロメトリ測定の画期的なイノベーションを開始しました。コンパクトで使いやすく、信頼性の高い干渉計でありながら、その精度は最先端技術を大きく上回っています。
精密に加工されたマウントで光学部品をテスト
干渉計D7
干渉計市場における精度のフラッグシップであるDifrotecの干渉計D7は、光学面や波面の形状を測定する装置です。測定値と実測値の差が0.6nm以下であること。これがD7の精度値でです。
D7は独立したハードウェアであり、フリンジパターン処理ソフトウェア「DifroMetric」が付属しています。
世界記録を達成
干渉計D7は、世界最高精度の0.6nmまたは6Ångströmの精度と優れた再現性を実現しています。
技術情報
D7は、位相シフトコモンパスポイント回折干渉計(PSPDI)です。一般的なフィゾー干渉計では基準光学系が必要で、追加の誤差が発生したり、表面の詳細がマスクされたりしますが、D7ではピンホール（薄い金属膜のサブ波長の開口部）から回折された波面が完全な基準となります。D7は特許出願中です。
特徴
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利点 |
Benefits |
| 物理的なリファレンスを使用することによる誤差の伝播がない |
- 膨大な数のリファレンスを変更する必要がないため、時間を節約できます。 |
| フィゾー干渉計に使用されている標準的な性能の透過球に比べ、100倍の精度を実現 | - 精度を高めるための中間的な機器や追加的な方法が必要ないため、時間とコストの節約になります。 |
| D7は他の干渉計に比べ、より多くの表面形状を検査することができる | - 光学システムの設置・発売前に製造上のミスを明らかにすることによるコスト削減 |
| 安定性と堅牢性 | - 優れた再現性により、継続的な証明を必要としない結果が得られるため、時間を節約できます。 - D7は特別な環境条件を必要としないため、コスト削減につながります。 |
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豊富なアプリケーション |
- コンパクトでシンプルなセットアップにより、研究室や工場の現場（in-situ）で、垂直および水平方向に使用することができ、時間とコストを節約できます。 |
| リトレースエラーが発生しない | - 非球面や自由曲面を測定する際のセットアップが簡素化され、時間とコストの削減につながります。 |
測定方法
D7を使った光学系の測定は、3つの簡単なステップで行うことができます。
| 1 | 試作品をホルダーに装着 |  |
| 2 | ソフトウェアインターフェースを使用したテストパーツの位置合わせ |  |
| 3 | フリンジを調整し、測定ボタンを押す |  |
仕様
| Performance | |
| 精度: | ≤0.6 nm (λ/1000) |
| 波面RMS再現性: | ≤0.23 nm (λ/2800) |
| 取得時間: | 10 milliseconds |
| Optical | |
| System clear numerical aperture (NA): | 0.6 (F# 0.83) |
| System imaging numerical aperture (NA): | 0.55 (F# 0.91) |
| 画像ズームシステム: | ソフトウェアインターフェースで制御する光学4倍ズーム |
| イメージング: | コヒーレント（ディフューザーガラスなし）、アーチファクト除去オプション付き |
| CCD カメラ: | 0.5k × 0.5k (オプション: 1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k) |
| 高さ方向の解像度: | λ/8000 |
| ピクセル深度（デジタル化): | 12 bits |
| 露光時間: | 40 μs minimum |
| センサーの画素数: | 500 × 500 on ≥50 mm diameter part |
| フォーカスコントロール: | モーター駆動、ソフトウェアインターフェースによる制御 |
| 光学的フォーカス範囲: | ± 2 m |
| Illumination | |
| レーザーの種類と波長: | 安定化 He-Ne, 632.8 nm |
| レーザー出力: | 2 mW (必要に応じて高出力化も可能) |
| 偏光: | 調整可能なテスト面の特性 |
| 可干渉距離: | ≥100m |
| System | |
| データ取得: | Phase shifting interferometry (PSI)位相シフト or 静止画 |
| PSI 方式: | PZT エレクトリック位相シフト |
| アライメント範囲: | ± 2.5 deg. |
| アライメントタイプ: | デュアル スポット |
| アライメント レティクル: | コンピュータ生成 |
D7には物理的な参照光学系がない
D7の動作原理（具体的な回路図は伏せてあります）
2ビーム位相シフト式点光源干渉計は、2つの独立した操舵可能なビームを利用することで、他の方式に比べて大きな利点があります。ここでは、テストビームとリファレンスビームが互いに直交しており、リファレンスの強度を調整することができます。凹面の形状は直接測定することができますが、他の種類の光学部品は非精密なアクセサリを使用して測定します。詳細な構成については、弊社ウェブサイト、www.difrotec.comをご参照ください。
アプリケーション
Difrotec社のD7は、既存のFizeau干渉計の検証を目的としています。リファレンスレスの設計により、D7は複雑な形状や大きな非球面の出発点を持つ高精度光学部品のテストに適しています。D7はコンパクトで信頼性が高く、使いやすい干渉計であり、一般的な光学部品の測定にも同様に優れています。
波面品質
- プロジェクションレンズ - 望遠鏡
- マイクロスコープ
- フォトレンズ
光学的表面品質
- スフェリカル
- フラット
- コーナーキューブ
- 非球面
- フリーフォーム
- 参照光学系
曲率半径（Radius of Curvature)
- 長距離センサーとD7の高いフォーカス精度を組み合わせることで、ppmのRoC精度を実現
画質
- 導入前に光学系の解像力を検証する。