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関連製品
FPSt 150 フロントマウント ピエゾ アクチュエーター Piezomechanik
4. ピエゾカートリッジ: 前面にネジを切った筐体の低電圧アクチュエータ
ピエゾアクチュエーターを前面のネジで簡単に取り付けることができます。
従来のマイクロメータを後付けすることで、光学機械の高解像度化に広く利用されています。
カートリッジタイプのスタックアクチュエーターは、前面にあるネジを使ってアクチュエーターをメカニックに取り付けるだけで、エレガントなデザインを実現します。このネジを使って、システムの粗調整を行います。ピエゾカートリッジは、従来のリードスクリューの後付けが可能です。ピエゾカートリッジを使用することで、調整用の機械装置を非常に簡単にアップグレードすることができます。
標準的な構成
ケーシング：ステンレススチール
電気的接続 1m同軸ケーブルRG178、BNCコネクタ付き
オプション
同軸ケーブルRG178、LEMOコネクタ00250または0S250付き
位置検出
サーモスタブル
4. ピエゾカートリッジ: 前面にネジを切った筐体の低電圧アクチュエータ
ピエゾカートリッジを用いたミラーマウントの模式図。取り付けネジによる粗調整とピエゾの働きによる超微調整が可能。
ピエゾアクチュエーターの種類 FPSt M12(BD)
フロントマウント型ピエゾカートリッジ FPSt 150
FPSt 150/4/... M8x0.5
(内部プレストレスなし)
最大荷重は 150 N
開ループ感度（1 mV アンプノイズ）： アクチュエータFPSt 150/4/20の場合：約0.1nm
|
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance nF |
|
FPSt 150/4/20 M8 |
27/20 |
22 |
340 |
|
FPSt 150/4/40 M8 |
55/40 |
40 |
700 |
|
FPSt 150/4/60 M8 |
80/60 |
58 |
1000 |
FPSt 150/5/... M10x0.75
(内部プレストレスなし)
最大荷重 600 N
オープンループ感度（1 mV アンプノイズ）：FPSt 150/5/20の場合、約0.1nm
|
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance nF |
|
FPSt 150/5/20 M10 |
27/20 |
23 |
800 |
|
FPSt 150/5/40 M10 |
55/40 |
41 |
1600 |
|
FPSt 150/5/60 M10 |
80/60 |
59 |
2400 |
|
FPSt 150/5/80 M10 |
105/80 |
77 |
3200 |
|
FPSt 150/5/100 M10 |
130/100 |
95 |
4000 |
FPSt 150/5/... M12x0.5(-BD)（旧バージョンMPSt(-BD)
(内部プレストレスなし)
DeepL 翻訳 MRL 80.25 および Newport ミラーマウント SL のレトロフィット用
最大荷重 600 N
アクチュエータFPSt 150/5/20のオープンループ感度（1mVアンプノイズ）：約0.1nm
.jpg)
|
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance nF |
|
FPSt 150/5/20 M12 (BD) |
27/20 |
25 (27) |
800 |
|
FPSt 150/5/30 M12 (BD) |
40/30 |
34 (34) |
1200 |
|
FPSt 150/5/40 M12 (BD) |
55/40 |
43 (43) |
1600 |
|
FPSt 150/5/60 M12 (BD) |
80/60 |
61 (64) |
2400 |
|
FPSt 150/5/80 M12 (BD) |
105/80 |
79 (82) |
3200 |
|
FPSt 150/5/100 M12 (BD) |
130/100 |
97 |
4000 |
|
FPSt 150/5/120 M12 (BD) |
160/120 |
115 |
4800 |
|
FPSt 150/5/140 M12 (BD) |
190/140 |
133 |
5600 |
フロントマウント型ピエゾカートリッジ FPSt 150
FPSt 150/7/... M14x1
プレストレス力＝最大引張り力＝200N
最大荷重は 1500 N
アクチュエータFPSt 150/7/20のオープンループ感度（1mVアンプノイズ時）：約0.1nm
|
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance μF |
|
FPSt 150/7/20 M14 |
27/20 |
28 |
1.8 |
|
FPSt 150/7/40 M14 |
60/40 |
46 |
3.6 |
|
FPSt 150/7/60 M14 |
80/60 |
64 |
5.4 |
|
FPSt 150/7/80 M14 |
105/80 |
82 |
7.2 |
|
FPSt 150/7/100 M14 |
130/100 |
100 |
19 |
|
FPSt 150/7/120 M14 |
160/120 |
118 |
11 |
|
FPSt 150/7/140 M14 |
190/140 |
136 |
13 |
|
FPSt 150/7/>140 M14 |
/>140 |
on request |
FPSt 150/10/... M18×1
(（内部プレストレスあり)
プレストレス力＝最大引張力＝400N
最大荷重は 3000 N
オープンループ感度（1mVアンプノイズ時）： アクチュエータFPSt 150/10/20の場合、約0.1ナノメートル
|
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance μF |
|
FPSt 150/10/20 M18 |
27/20 |
28 |
3.6 |
|
FPSt 150/10/40 M18 |
55/40 |
46 |
7.2 |
|
FPSt 150/10/60 M18 |
80/60 |
64 |
11 |
|
FPSt 150/10/80 M18 |
105/80 |
82 |
14 |
|
FPSt 150/10/100 M18 |
130/100 |
100 |
18 |
|
FPSt 150/10/120 M18 |
160/120 |
118 |
21 |
|
FPSt 150/10/140 M18 |
190/140 |
136 |
25 |
|
FPSt 150/10/>140 M18 |
>/140 |
on request |