Piezomechanik
ピエゾ リング アクチュエーター HPSt150(チューブ型)
リング型アクチュエータのパッケージデザイン
標準:ステンレス製ケーシング、内部予圧式
堅牢な設計で取り扱いが容易、豊富な改造やオプションが可能
透過型の光学機器に広く採用されています。
type |
max, stroke1) μm |
length mm |
el. capacitance μF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
HPSt 150/14-10/12 VS22 |
16/12 |
31 |
2.6 |
250 |
30 |
HPSt 150/14-10/25 VS22 |
32/25 |
44 |
5.2 |
120 |
20 |
HPSt 150/14-10/40 VS22 |
50/40 |
58 |
7.8 |
70 |
14 |
HPSt 150/14-10/55 VS22 |
70/50 |
71 |
11.6 |
50 |
9 |
1)ストロークA/B
A: -30 V ~ +150 V
B: 0 V ~ +150 V
標準的な構成
同軸ケーブル RG 178 長さ1m BNCコネクタ付き
オプション
同軸ケーブル RG 178 長さ1m、LEMO 00250 または 0S250 コネクタ付き 超高真空対応
UHV互換性
低温アプリケーション
サーモスタットの変更
ポジションセンサー
光学アダプター0A 1⁄2": セクション6「アクセサリー」参照
アダプターリングAR: セクション6「アクセサリー」参照
プレストレス力=最大引張り力=700N
最大荷重は 11000 N
最大発生力:8000 N (-30V/+150V)
アクチュエータHPSt 150/20-15/12 VS35の1mVアンプノイズに対するオープンループ感度:約0.1nm
type |
max, stroke1) μm |
length mm |
el. capacitance μF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
HPSt 150/20-15/12 VS35 |
16/12 |
31 |
5.5 |
450 |
30 |
HPSt 150/20-15/25 VS35 |
32/25 |
44 |
10 |
230 |
20 |
HPSt 150/20-15/40 VS35 |
50/40 |
58 |
15 |
150 |
17 |
HPSt 150/20-15/55 VS35 |
70/50 |
71 |
20 |
100 |
15 |
標準的な構成
同軸ケーブルRG178 長さ1m BNCコネクタ付き
オプション
同軸ケーブル RG 178 長さ 1m、LEMO 00250 または 0S250 コネクタ付き 超高真空対応
低温アプリケーション
サーモスタットの改造
位置検出器
光学アダプター0A 1": セクション6「アクセサリー」を参照
アダプターリングAR: セクション6「アクセサリー」を参照
1)ストロークA/B: