Piezomechanik
ピエゾスタック PSt150
汎用スタックアクチュエータパッケージ
標準:ステンレス製ケーシング、内部予圧式
堅牢な設計で取り扱いが容易、豊富な改造やオプションが可能
プレストレス力=最大引張力=約40N
最大負荷力:300N
最大フォース発生量 300 N1)
オープンループ感度(アンプノイズ1mV時) アクチュエータ PSt 150/4/7 VS9:約0.05nm
type |
max, stroke2) μm |
length mm |
el. capacitance nF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
PSt 150/4/7 VS9 |
13/9 |
19 |
170 |
25 |
40 |
PSt 150/4/20 VS9 |
27/20 |
28 |
340 |
12 |
30 |
標準的な構成
可動部にネジ穴
電気的接続 1mの同軸ケーブルRG 178とBNCコネクタ
オプション
LEMOコネクタ付き同軸ケーブルRG178 00250または0S250 球状エンドピースVbS付き移動端
UHV対応
付属品 6項参照
1)最大発生力: -30 Vから+150 Vまで
2)ストロークA/B A: -30 Vから+150 Vまで
B: 0 Vから+150 Vまで
プレストレス力=最大引張り力=約150N
最大負荷力:800 N
最大発生力: 800 N
アクチュエータPSt 150/5/7 VS10のオープンループ感度(アンプノイズ1mV時):0.05nm
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance nF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
PSt 150/5/7 1 VS10 |
13/9 |
19 |
350 |
50 |
40 |
PSt 150/5/20 VS10 |
27/20 |
28 |
800 |
25 |
30 |
PSt 150/5/40 VS10 |
55/40 |
46 |
1600 |
12 |
20 |
PSt 150/5/60 VS10 |
80/60 |
64 |
2400 |
8 |
15 |
PSt 150/5/80 VS10 |
105/80 |
82 |
3200 |
6 |
12 |
PSt 150/5/100 VS10 |
130/100 |
100 |
4000 |
5 |
10 |
標準的な構成
可動部にネジ穴
電気的接続 1mの同軸ケーブルRG 178とBNCコネクタ
オプション
LEMOコネクタ付き同軸ケーブルRG178 00250または0S250
球状端部を有する移動端部 Vbs
ねじ込みピンを有する移動端部 VAg
移動端部平面 pF
耐熱性の向上
低温改造 UHV対応
位置検出
アクセサリー 6項参照
プレストレス力=最大引張り力=300N
最大負荷力:1800N
最大力の発生 1800 N
開ループ感度 at 1 mV amplifier noise for actuator PSt 150/7/7: 0.05 nm
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance μF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
PSt 150/7/7 VS12 |
13/9 |
19 |
0.8 |
120 |
40 |
PSt 150/7/20 VS12 |
27/20 |
28 |
1.8 |
60 |
30 |
PSt 150/7/40 VS12 |
55/40 |
46 |
3.6 |
25 |
20 |
PSt 150/7/60 VS12 |
80/60 |
64 |
5.4 |
15 |
15 |
PSt 150/7/80 VS12 |
105/80 |
82 |
7.2 |
12 |
12 |
PSt 150/7/100 VS12 |
130/100 |
100 |
9 |
10 |
10 |
PSt 150/7/120 VS12 |
160/120 |
118 |
11 |
8 |
8 |
PSt 150/7/140 VS12 |
190/140 |
136 |
13 |
7 |
6 |
PSt 150/7/160 VS12 |
210/160 |
154 |
15 |
6 |
5 |
標準的な構成
可動部にネジ穴
電気的接続 1mの同軸ケーブルRG 178とBNCコネクタ
オプション
LEMOコネクタ付き同軸ケーブルRG178 00250または0S250
球状エンドピース付き移動端 VbS
ねじ込みピン付き移動端 VAg
移動端面 pF
耐熱性の向上
低温改造 UHV対応
位置検出
アクセサリーはセクション6を参照
プレストレス力=最大引張力=約400N
最大負荷力は 4000 N
最大発生力 3500 N
アクチュエータ PSt 150/10/7 VS15 のオープンループ感度(1 mV アンプノイズ時):0.05 nm
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance μF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
PSt 150/10/20 VS15 |
27/20 |
128 |
3.6 |
120 |
30 |
PSt 150/10/40 VS15 |
55/40 |
146 |
7.2 |
60 |
20 |
PSt 150/10/60 VS15 |
80/60 |
164 |
11 |
35 |
14 |
PSt 150/10/80 VS15 |
105/80 |
182 |
14 |
25 |
12 |
PSt 150/10/100 VS15 |
130/100 |
100 |
18 |
20 |
10 |
PSt 150/10/120 VS15 |
160/120 |
118 |
21 |
15 |
8 |
PSt 150/10/140 VS15 |
190/140 |
136 |
25 |
14 |
7 |
PSt 150/10/160 VS15 |
210/160 |
154 |
28 |
13 |
6 |
PSt 150/10/180 VS15 |
240/180 |
172 |
33 |
11 |
5 |
PSt 150/10/200 VS15 |
270/200 |
190 |
37 |
10 |
4 |
標準的な構成
可動部にネジ穴
電気的接続 1mの同軸ケーブルRG 178とBNCコネクタ
オプション
LEMOコネクタ付き同軸ケーブルRG178 00250または0S250
球状端部を有する移動端部 Vbs
ねじ込みピンを有する移動端部 VAg
移動端部平面 pF
耐熱性の向上
低温改造 UHV対応
位置検出
アクセサリー 6項参照
プレストレス力=最大引張り力=約1000N
最大負荷力:7000N
最大発生力 7000 N
オープンループ感度(1 mV アンプノイズ): アクチュエータ PSt 150/14/20 の場合:約 0.1 nm
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance μF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
PSt 150/14/20 VS20 |
27/20 |
35 |
17 |
250 |
30 |
PSt 150/14/40 VS20 |
55/40 |
53 |
14 |
120 |
20 |
PSt 150/14/60 VS20 |
80/60 |
71 |
22 |
70 |
14 |
PSt 150/14/80 VS20 |
105/80 |
89 |
30 |
50 |
12 |
PSt 150/14/100 VS20 |
130/100 |
107 |
39 |
40 |
10 |
PSt 150/14/120 VS20 |
160/120 |
125 |
47 |
35 |
8 |
PSt 150/14/140 VS20 |
190/140 |
143 |
55 |
30 |
7 |
PSt 150/14/160 VS20 |
210/160 |
161 |
63 |
25 |
6 |
PSt 150/14/180 VS20 |
240/180 |
179 |
71 |
22 |
5 |
PSt 150/14/200 VS20 |
270/200 |
197 |
80 |
20 |
4 |
標準的な構成
移動端にタップ穴
1m同軸ケーブル RG 178 BNCコネクタ付き
オプション
同軸ケーブル RG178(LEMOコネクタ付き) 00250 または 0S250
同軸ケーブル RG 316(パワーアプリケーション用
球状端部を有する移動端部 Vbs
ねじ込みピンを有する移動端部 VAg
移動端部平面 pF
耐熱性の向上
低温改造 UHV対応
位置検出
アクセサリー 6項参照
プレストレス力=最大引張力=約1500N
最大負荷力:14000N
最大発生力 11000 N
オープンループ感度(1 mV アンプノイズ時): アクチュエータ PSt 150/20/20 VS25:約 0.1 nm
type |
max, stroke μm |
length mm |
el. capacitance nF |
stiffness N/μm |
resonance frequency kHz |
PSt 150/20/20 VS25 |
25/20 |
37 |
15 |
500 |
28 |
PSt 150/20/40 VS25 |
50/40 |
57 |
30 |
250 |
20 |
PSt 150/20/60 VS25 |
75/60 |
77 |
45 |
160 |
13 |
PSt 150/20/80 VS25 |
95/80 |
97 |
60 |
100 |
11 |
PSt 150/20/100 VS25 |
120/100 |
117 |
75 |
180 |
9 |
PSt 150/20/120 VS25 |
150/120 |
137 |
90 |
165 |
7 |
PSt 150/20/140 VS25 |
175/140 |
157 |
105 |
155 |
6 |
PSt 150/20/160 VS25 |
200/160 |
177 |
120 |
150 |
5 |
PSt 150/20/180 VS25 |
230/180 |
197 |
135 |
145 |
4 |
PSt 150/20/200 VS25 |
250/200 |
217 |
150 |
140 |
3 |
標準的な構成
可動部にネジ穴
電気的接続 1mの同軸ケーブルRG 178とBNCコネクタ
オプション
同軸ケーブル RG178、LEMO コネクタ付き 00250 または 0S250
同軸ケーブル RG 316(パワーアプリケーション用) 変形エンドピース(ご要望に応じて
ストローク A/B A: -30 V ~ +150 V 用 B: -30 V ~ +150 V 用 最大発生力: -30 V ~ +150 V 用
恒温化改造
低温化改造
UHV対応
位置検出
付属品はセクション6を参照