当社のエキシマ・UVレーザーミラーは、高エネルギーのエキシマレーザー用に設計された多層誘電体コーティングのミラーです。これらのコーティングにより、優れた反射率と高いダメージ閾値の要求を満たすことができます。40年以上のエキシマコーティングの設計・開発経験を持つアクトンは、お客様のスペクトル、偏光、アプリケーションの要求に合わせてコーティングを設計することができます。当社は、ビームターンミラーと通常の入射ミラーの在庫を保有しており、お客様の施設に迅速にお届けします。
エキシマレーザ用光学部品は大量生産が可能であり、価格競争力があります。また、高度な訓練を受けた技術者とクリーンルーム施設を利用して、すぐに設置できる光学アセンブリを提供することもできます。
UV/エキシマレーザ用ミラー - 標準光学部品のパーツナンバー
波長 | 反射率 % | 直径 1.0” | 直径 2.0” |
---|---|---|---|
126nm | ≥ 55% @ 入射角 0° | M126-FR-1D-MB | M126-FR-2D-MB |
≥ 50% @ 入射角 45° | M126-FR45-1D-MB | M126-FR45-2D-MB | |
147nm | ≥ 75% @ 入射角 0° | M147-FR-1D-MB | M147-FR-2D-MB |
≥ 70% @ 入射角 45° | M147-FR45-1D-MB | M147-FR45-2D-MB | |
157nm | ≥ 89% @ 入射角 0° | M157-FR-1D-MB | M157-FR-2D-MB |
≥ 87% @ 入射角 45° | M157-FR45-1D-MB | M157-FR45-2D-MB | |
172nm | ≥ 93% @ 入射角 0° | M172-FR-1D-MB | M172-FR-2D-MB |
≥ 90% @ 入射角 45° | M172-FR45-1D-MB | M172-FR45-2D-MB | |
193nm e | ≥ 98% @ 入射角 0° | M193-FRe-1D-MB | M193-FRe-2D-MB |
≥ 97% @ 入射角 45° | M193-FR45e-1D-MB | M193-FR45e-2D-MB | |
193nm XL | ≥ 97% @ 入射角 0° | M193-FRXL-1D-MB | M193-FRXL-2D-MB |
≥ 96% @ 入射角 45° | M193-FRXL45-1D-MB | M193-FRXL45-2D-MB | |
248nm | ≥ 98% @ 入射角 0° | M248-FR-1D-MB | M248-FR-2D-MB |
≥ 97% @ 入射角 45° | M248-FR45-1D-MB | M248-FR45-2D-MB | |
308nm | ≥ 98% @ 入射角 0° | M308-FR-1D-MB | M308-FR-2D-MB |
≥ 97% @ 入射角 45° | M308-FR45-1D-MB | M308-FR45-2D-MB | |
353nm | ≥ 99% @ 入射角 0° | M353-FR-1D-MB | M353-FR-2D-MB |
≥ 98% @ 入射角 45° | M353-FR45-1D-MB | M353-FR45-2D-MB |
https://www.actonoptics.com/products/excimer-laser-optics
上記サイトで反射コーティング カーブをご覧下さい。
アクトンオプティクスのUV/エキシマコーティングの主な利点
◉ 最高のダメージしきい値
◉ 長寿命
◉ 多彩なコーティングが可能
◉ すべてのエキシマ波長:157nm、193nm、248nm、308nm、353nm
アクトンオプティクス社のUV/エキシマコーティングの主なアプリケーション
⦿ エキシマレーザによる視力矯正システム(レーシック
⦿ 半導体レーザーおよび計測システム
⦿ 材料加工アプリケーション
アクトンの「ハイブリッド」355nm Nd:YAGコーティングは、高出力と高繰り返しに対応できるコーティングを実現するために、コーティング蒸着とプロセス制御における当社の広範な専門知識を組み合わせたものです。これらのコーティングは、15.27J/cm2のレーザー損傷しきい値テストに100kHzまでの繰り返しで耐えており、入射角0°および入射角45°に対応しています。詳細は以下の表をご参照ください。
光学部品は大量生産、大量供給が可能なため、価格は非常に競争力のあるものとなっています。また、高度な訓練を受けた技術者とクリーンルームを利用して、「すぐに取り付けられる」光学部品を提供することも可能です。
355nm レーザーミラー
反射率 % R | 波長 | 直径 1.0" Part Numbers |
直径 2.0" Part Numbers |
ダメージしきい値 | |
---|---|---|---|---|---|
355 nm @ Near Normal Incidence | 99.9% | 355 | M355-FR-HY-1D-MB | M355-FR-HY-2D-MB | > 15 J/cm2* |
355 nm @ 45° AOI | ≥ 99% | 355 | M355-FR45-HY-1D-MB | M355-FR45-HY-2D-MB | > 15 J/cm2* |
レーザーグレードの基板に電子ビームで蒸着された特殊な多層誘電体コーティングにより、高エネルギーのエキシマレーザーやUVレーザーの波長を最大限に反射し、さらに特定の可視レーザーの波長で50%以上の反射率を同じミラーで実現しています。
標準的なミラーは、Nd:YAGレーザーの高調波およびエキシマ/HeNeレーザーの反射鏡として設計されています。これらのミラーは、レーザー高調波発生やエキシマ・アライメントのアプリケーションのための2波長反射を可能にします。アクトンは、248nm、308nm、353nmのエキシマ波長と266nm(下記)の標準45°ミラーを用意しています。
2波長UV/Excimerレーザーミラー
波長 | 入射角 | 248nm 反射率 % R |
633nm 反射率 % R |
直径 1.0" Part Numbers |
直径 2.0" Part Numbers |
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248/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 97% | ≥ 80% | M248/633-FR-1D-MB | M248/633-FR-2D-MB |
248/633nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M248/633-FR45-1D-MB | M248/633-FR45-2D-MB |
266/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 97% | ≥ 80% | M266/532-FR-1D-MB | M266/532-FR-2D-MB |
266/532nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M266/532-FR45-1D-MB | M266/532-FR45-2D-MB |
308/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 97% | ≥ 80% | M308/303-FR-1D-MB | M308/633-FR-2D-MB |
308/633nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M308/633-FR45-1D-MB | M308/633-FR45-2D-MB |
353/633nm | @ Near Normal Incidence | ≥ 98% | ≥ 80% | M353/633-FR-1D-MB | M353/633-FR-2D-MB |
353/633nm | @ 45° AOI | ≥ 98% | ≥ 80% | M353/633-FR45-1D-MB | M353/633-FR45-2D-MB |
誘電体、低吸収の多層膜で、レーザー出力のカプラーやビームスプリッター用途に最適です。126 nmから353 nmまでの全波長域のビームスプリッターは、高出力レーザー用途で優れた性能を発揮するように、指定されたレーザー波長と入射角で反射率と透過率が校正されています。標準的なビームスプリッターは、ランダム偏光用に設計されています。
アクトンオプティクス&コーティングスは、水平 "P "偏光や垂直 "S "偏光など、お客様のご要望に応じてビームスプリッターをカスタム設計いたします。必要に応じて、ビームスプリッターの後面に反射防止コーティングを施すことも可能です。コーティングは、アクトンの標準的な基板に施すことができます。
VUV/UVレーザービームスプリッター
波長 | 反射率 10% +/-2% | 30% +/-5% | 50% +/-5% | 70% +/-5% | 90% +/-5% |
---|---|---|---|---|---|
126nm | M126-P1045 | M126-P3045 | M126-P5045 | M126-P7045 | M126-P9045 |
147nm | M147-P1045 | M147-P3045 | M147-P5045 | M147-P7045 | M147-P9045 |
157nm | M157-P1045 | M157-P3045 | M157-P5045 | M157-P7045 | M57-P9045 |
172nm | M172-P1045 | M172-P3045 | M172-P5045 | M172-P7045 | M172-P9045 |
193nm | M193-P1045 | M193-P3045 | M193-P5045 | M193-P7045 | M93-P9045 |
248nm | M248-P1045 | M248-P3045 | M248-P5045 | M248-P7045 | M248-P9045 |
266nm | M266-P1045 | M266-P3045 | M266-P5045 | M266-P7045 | M266-P9045 |
308nm | M308-P1045 | M308-P3045 | M308-P5045 | M308-P7045 | M308-P9045 |
353nm | M353-P1045 | M353-P3045 | M353-P5045 | M353-P7045 | M353-P9045 |
注:ビームスプリッターのコーティングパーツ番号(透過率ベース)
完全なビームスプリッターの場合
コーティング部品番号 + 基板部品番号 = 完全なビームスプリッター
例えば、以下のようになります。
308nm、45°、透過率30%のビームスプリッターを、1.0インチフラットUVグレード石英基板上に設置する場合。
部品番号:M308-P3045-1D-MB
裏面使用のコーティングは、コーティングの品番に「-S2」を追加して指定する必要があります。
上記の品番は、45°の入射角のコーティングのみです。 入射角0°でのコーティングが必要な場合は、コーティングの品番から「45」を削除してください。
例:部品番号M193-P1045は、部品番号M193-P10となります。
一般的に、170nm以上のビームスプリッターには、レーザーグレードのUVフューズドシリカを推奨します。
UV/VISダイクロイックミラー
UV/VISダイクロイックミラーは、特殊な多層誘電体コーティングが施されており、広帯域のVIS/NIR透過率でUVレーザの主波長を反射することができます。ダイクロイックミラーは、通常、ビームコンバインやビームセパレーションに使用されます。下記の標準的なダイクロイックミラーは、UVレーザーグレードのフューズドシリカを基板とし、45°での使用に最適化されていますが、ご要望に応じて他の角度での使用も可能です。また、145 nmから約355 nmまでのUV反射波長に対応しています。
UV/IRダイクロイックミラー
UV/IRダイクロイックミラーは、紫外レーザーの波長を反射し、赤外までの波長を透過するように設計されています。このミラーのコーティングは、高品質のCaF2基板上に電子ビームで蒸着された特殊な変性多層誘電体デザインです。当社のUV/IRダイクロイックミラーは、下記のUV波長を反射し、約8 µmまでの透過率を実現しています。
UV/VISダイクロイックミラー - 標準フューズドシリカ ミラーブランクス
UV 波長 | 45度入射 反射率 | 直径1.0" dia. (25.4mm) | 1.5" dia. (38.1mm) | 2.0" dia (50.8mm) |
---|---|---|---|---|
193nm | ≥ 94% | 193/V-FR45-1D-MB | 193/V-FR45-1.5D-MB | 193/V-FR45-2D-MB |
212nm | ≥ 95% | 212/V-FR45-1D-MB | 212/V-FR45-1.5D-MB | 212/V-FR45-2D-MB |
248nm | ≥ 96% | 248/V-FR45-1D-MB | 248/V-FR45-1.5D-MB | 248/V-FR45-2D-MB |
266nm | ≥ 96% | 266/V-FR45-1D-MB | 266/V-FR45-1.5D-MB | 266/V-FR45-2D-MB |
308nm | ≥ 96% | 308/V-FR45-1D-MB | 308/V-FR45-1.5D-MB | 308/V-FR45-2D-MB |
353nm | ≥ 98% | 353/V-FR45-1D-MB | 353/V-FR45-1.5D-MB | 353/V-FR45-2D-MB |
UV/IRダイクロイックミラー - CaF2基板
UV 波長 | 45度入射 反射率 | 直径1.0" dia. (25.4mm) | 1.5" dia. (38.1mm) | 2.0" dia (50.8mm) |
---|---|---|---|---|
193nm | ≥ 94% | 193/IR-FR45-1D-FLC | 193/IR-FR45-1.5D-FLC | 193/IR-FR45-2D-FLC |
212nm | ≥ 95% | 212/IR-FR45-1D-FLC | 212/IR-FR45-1.5D-FLC | 212/IR-FR45-2D-FLC |
248nm | ≥ 96% | 248/IR-FR45-1D-FLC | 248/IR-FR45-1.5D-FLC | 248/IR-FR45-2D-FLC |
266nm | ≥ 96% | 266/IR-FR45-1D-FLC | 266/IR-FR45-1.5D-FLC | 266/IR-FR45-2D-FLC |
308nm | ≥ 96% | 308/IR-FR45-1D-FLC | 308/IR-FR45-1.5D-FLC | 308/IR-FR45-2D-FLC |
353nm | ≥ 98% | 353/IR-FR45-1D-FLC | 353/IR-FR45-1.5D-FLC | 353/IR-FR45-2D-FLC |
アクトンの狭帯域反射防止膜は、電子ビームで蒸着された耐久性のある誘電体で、通常はコーティングされていない基板の表面から発生する反射を最小限に抑えるように設計されています。これらの低吸収コーティングは、レンズの透過率を高めたり、ビームスプリッターの第二表面反射を抑えるのに適しています。反射防止膜は、レーザーダメージへの耐性に優れ、高出力での使用に適しています。
標準的な "V-type "反射防止膜は、126 nmから353 nmの特定の波長に対応しています。
注:部品番号はアクトンの標準ストック基板用です。カスタム・コーティングや45°AOI用のコーティング、その他の波長にも対応しています。
キシマーレーザー - 狭帯域反射防止コーティング ウィンドウ
波長 | 直径 1" Part Number | 2” Part Number | 反射率 % 入射角0度 |
---|---|---|---|
126nm | M126-2AR-1D-FL | M126-2AR-2D-FL | ≤ 0.5% @ 126nm |
147nm | M147-2AR-1D-FL | M147-2AR-2D-FL | ≤ 0.5% @ 147nm |
157nm | M157-2AR-1D-FL | M157-2AR-2D-FL | ≤ 0.5% @ 157nm |
172nm | M172-2AR-1D-FL | M172-2AR-2D-FL | ≤ 0.3-0.5% @ 172nm |
193nm | M193-2AR-1D-FL | M193-2AR-2D-FL | ≤ 0.3-0.5% @193nm |
248nm | M248-2AR-1D-FL | M248-2AR-2D-FL | ≤ 0.2-0.5% @248nm |
308nm | M308-2AR-1D-FL | M308-2AR-2D-FL | ≤ 0.2-0.5% @308nm |
353nm | M353-2AR-1D-FL | M353-2AR-2D-FL | ≤ 0.2-0.5% @353nm |
UVブロードバンド反射防止膜は、耐久性のある電子ビーム蒸着の誘電体で、コーティングされていない表面で通常発生する反射を最小限に抑えるように設計されています。
この低吸収コーティングは、レンズの透過率を高めたり、ビームスプリッターの第二表面反射を抑えるのに適しています。また、耐レーザー性にも優れているため、高出力レーザーの使用にも適しています。以下は、当社が提供するコーティングおよびコーティングされた窓の一例です。Vタイプの反射防止膜もあります。
注)コーティングは、お客様から提供された材料(CSM)に施すことも、当社の基板やレンズに施すことも可能です。コーティングされていないフューズドシリカの反射率は、193nmで表面あたり4.8%、248nmで表面あたり4.1%です。
UVレーザー - 広帯域反射防止膜
波長 | 反射率 % 入射角0度 |
---|---|
355-532-1064nm | ≤ 0.5% per wavelength |
400-800nm | ≤ 0.5% average |