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VUV/UVフィルター Teledyne Acton Optics


TELEDYNE Acton Optics

 

VUV/UV  狭帯域フィルター

アクトンの標準狭帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料で作られており、多くの研究および産業用途で使用されています。
フィルターは出荷前に視覚的および光学的に検査され、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線が含まれています。詳細な「拒否」曲線は、製造時に購入できます。画質フィルターと同様に、他の波長とサイズも利用できます。

狭帯域VUV / UV光学フィルター

ピーク波長

FWHM
(nm)

最小 ピーク
透過率

直径0.5
インチ、厚さ2 mm

1.0 "直径
2.5 mm厚

2.0 "直径
4 mm厚

122 +/- 2.5 nm

最大10

5%

FN122-XN-.5D

FN122-XN-1D

FN122-XN-2D

122 +/- 2.5 nm

最大15

10%

FN122-VN-.5D

FN122-VN-1D

FN122-VN-2D

122 +/- 2.5 nm

最大20

15%

FN122-N-.5D

FN122-N-1D

FN122-N-2D

126 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN126-N-.5D

FN126-N-1D

FN126-N-2D

130 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN130-N-.5D

FN130-N-1D

FN130-N-2D

135 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN135-N-.5D

FN135-N-1D

FN135-N-2D

140 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN140-N-.5D

FN140-N-1D

FN140-N-2D

147 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN147-N-.5D

FN147-N-1D

FN147-N-2D

150 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN150-N-.5D

FN150-N-1D

FN150-N-2D

155 +/- 2.5nm

20 +/- 5

12%

FN155-N-.5D

FN155-N-1D

FN155-N-2D

157 +/- 2.5nm

20 +/- 5

12%

FN157-N-.5D

FN157-N-1D

FN157-N-2D

160 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

12%

FN160-N-.5D

FN160-N-1D

FN160-N-2D

172 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN172-N-.5D

FN172-N-1D

FN172-N-2D

180 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN180-N-.5D

FN180-N-1D

FN180-N-2D

185 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

15%

FN185-N-.5D

FN185-N-1D

FN185-N-2D

185 +/- 2.5nm

20 +/- 7.5

10%

FN185-HR-.5D

FN185-HR-1D

FN185-HR-2D

190 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN190-N-.5D

FN190-N-1D

FN190-N-2D

193 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN193-N-.5D

FN193-N-1D

FN193-N-2D

200 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN200-N-.5D

FN200-N-1D

FN200-N-2D

205 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN205-N-.5D

FN205-N-1D

FN205N-2D

210 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN205-N-.5D

FN205-N-1D

FN205-N-2D

214 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN214-N-.5D

FN214-N-1D

FN214-N-2D

220 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN220-N-.5D

FN220-N-1D

FN220-N-2D

222 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN222-N-.5D

FN222-N-1D

FN222-N-2D

230 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN230-N-.5D

FN230-N-1D

FN230-N-2D

240 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN240-N-.5D

FN240-N-1D

FN240-N-2D

250 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN250-N-.5D

FN250-N-1D

FN250-N-2D

254 +/- 2.5nm

20 +/- 5

15%

FN254-N-.5D

FN254-N-1D

FN254-N-2D

320nmまでの全波長に対応しています。FWHM、ピーク透過率、ピーク波長の仕様は、上記のピーク波長の範囲内です。
  

   

  
 

UV バンドパス フィルター

標準バンド パス フィルタの設計例
オープンフェイス 

オープンフェイスデザインは、片面に光学フィルターコーティングが施された基板です。オープンフェイスのフィルターは、ソフトなフィルターコーティングが露出しているため、取り扱いには注意が必要です。湿気や大気中の汚染物質、取り扱いによる損傷の可能性は、図のようにフィルターを保護用石英カバーで密閉することで軽減できます。
湿気や大気汚染、取り扱いによるダメージを軽減するために、以下のような保護用の石英カバーでフィルターを密閉することができます(190nm以上のみ)。

カバーリング/エッジシール 

190nm以上のフィルターには、保護目的のために溶融シリカのカバーが付いている場合があります。図に示すように、スペーサーリングを基板間に配置して小さなエアギャップを形成した後、エッジをシールします。これにより、繊細なフィルターコーティングに触れることなく、フィルターを取り扱うことができます。なお、フィルターを覆うことで透過率は2〜3%低下します。
エッジシールを行うと、フィルターの直径が約0.010インチ(0.254mm)増加します。カバーリングとエッジシールを施したフィルターの総厚さは、オープンフェイスの場合の約2倍になります。正確な寸法はオプティクス営業部にお問い合わせください。

マウント

オープンフェイスまたはカバー付きのフィルター(エッジシーラントなし)は、必要に応じて金属製のマウントリングで提供できます。このリングはアルミニウム製で、黒アルマイト処理されています。フィルターを装着すると、以下のように開口部が小さくなり、外径が大きくなります。

N、-B、-W、-VBBフィルターの直径情報
注:特に指定のない限り、フィルターはオープンフェイスで提供されます。
* 2.0インチ径の122-157nmフィルターは5mm厚です。

Unmounted
Filter
Diameter
Diameter
Tolerance
Mounted Filter
Diameter ±0.005”
Unmounted
Filter
Thickness
Mounted
Thickness
Clear
Aperture
0.5” (12.7mm) +0.00”/-0.005” (0.127mm) 0.625” (15.88mm) 0.079" (2mm) 0.300” (7.62mm) 0.450” (11.43mm)
1.0” (25.4mm) +0.00”/-0.005” (0.127mm) 1.200” (30.48mm) 0.098" (2.5mm) 0.375” (9.53mm) 0.800” (20.32mm)
2.0” (50.8mm) +0.00”/-0.005” (0.127mm) 2.225” (56.52mm) 0.197" (4mm) 0.500” (12.7mm) 1.900” (48.26mm)

フィルター素材情報

Wavelengths < 140nm 140-169nm 170-320nm
Substrate Material VUV MgF2 VUV CaF2 UV Grade Fused Silica

 

VUV / UV ブロードバンド フィルター

アクトンの標準的な広帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料から作られており、多くの研究および産業用途に使用されています。
フィルターは、出荷前に目視と光学検査を行い、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線を含んでいます。また、詳細な "rejection "カーブを製造時に購入することも可能です。他の波長やサイズ、高画質フィルターもご用意しています。

ブロードバンドVUV / UV光学フィルター

ピーク
波長(nm)

FWHM
(nm)

最小 ピーク
透過率

0.5 "直径
2mm厚

1.0”直径
2.5mm厚

2.0”直径
4mm厚

130 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB130-B-.5D

FB130-B-1D

FB130-B-2D

140 +/- 5nm

60 +/- 10

30%

FB140-B-.5D

FB140-B-1D

FB140-B-2D

150 +/- 5nm

60 +/- 10

30%

FB150-B-.5D

FB150-B-1D

FB150-B-2D

180 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB180-B-.5D

FB180-B-1D

FB180B-2D

190 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB190-B-.5D

FB190-B-1D

FB190B-2D

200 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB200-B-.5D

FB200-B-1D

FB200-B-2D

210 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB210-B-.5D

FB210-B-1D

FB210-B-2D

214 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB214-B-.5D

FB214-B-1D

FB214-B-2D

220 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB220-B-.5D

FB220-B-1D

FB220-B-2D

230 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB230-B-.5D

FB230-B-1D

FB230-B-2D

240 +/- 5nm

35 +/- 10

30%

FB240-B-.5D

FB240-B-1D

FB240-B-2D

250 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB250-B-.5D

FB250-B-1D

FB250-B-2D

254 +/- 5nm

40 +/- 10

30%

FB254-B-.5D

FB254-B-1D

FB254-B-2D

320nmまでの全波長に対応しています。FWHM、ピーク透過率、ピーク波長の仕様は、上記のピーク波長の範囲内です。
   




 

VUV / UV ワイド バンド フィルター

アクトンの標準的な広帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料から作られており、多くの研究および産業用途に使用されています。
フィルターは、出荷前に目視と光学検査を行い、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線を含んでいます。また、詳細な "rejection "カーブを製造時に購入することも可能です。他の波長やサイズ、高画質フィルターもご用意しています。

広帯域VUV / UV光学フィルター

ピーク
波長(nm)

FWHM
(nm)

最小 ピーク
透過率

0.5 "直径
2mm厚

1.0”直径
2.5mm厚

2.0”直径
4mm厚

130 +/- 10nm

100 +/- 25

40%

FW130-W-.5D

FW130-W-1D

FW130-W-2D

160 +/- 10nm

100 +/- 25

45%

FW160-W-.5D

FW160-W-1D

FW160-W-2D

200 +/- 10nm

60 +/- 20

45%

FW200-W-.5D

FW200-W-1D

FW200-W-2D

250 +/- 10nm

80 +/- 20

45%

FW250-W-.5D

FW250-W-1D

FW250-W-2D

300 +/- 10nm

100 +/- 25

45%

FW300-W-.5D

FW300-W-1D

FW300-W-2D




 

VUV/UV NDフィルター

Teledyne Acton OpticsのVUVニュートラルデンシティフィルターは、金属フィルムに誘電体の保護層を重ねたものである。120nm~200nmの領域の濃度は、このフィルムの透過率、反射率、吸収率の組み合わせで決まります。また、200nm〜320nmの紫外波長域用の中性濃度フィルターもラインナップしています。

120nm~200nmの透過率を個別に校正し、透過率曲線を添付しています。ND5およびND6フィルターは特注品です。160.8nmや253.7nmなどの強いスペクトル線でのみ校正されています。VUVフィルターはUVグレードのMgF2にコーティング、UVフィルターはUVグレードのフューズドシリカにコーティングして提供しています。

VUV NDフィルター:120-200 nm

光学密度

公称透過率

透過率

0.5 "パーツ番号

1.0 "パーツ番号

2.0 "パーツ番号

0.3

50%

42〜58%

FND0.3-.5D-V

FND0.3-1D-V

FND0.3-2D-V

0.5

30%

25〜35%

FND0.5-.5D-V

FND0.5-1D-V

FND0.5-2D-V

1.0

10%

8-12%

FND1-.5D-V

FND1-1D-V

FND1-2D-V

1.5

3.0%

2.5〜3.5%

FND1.5-.5D-V

FND1.5-1D-V

FND1.5-2D-V

2.0

1.0%

0.7-1.4%

FND2-.5D-V

FND2-1D-V

FND2-2D-V

3.0

0.1%

0.06-0.17%

FND3-.5D-V

FND3-1D-V

FND3-2D-V

4.0

0.01%

0.005-0.02%

FND4-.5D-V

FND4-1D-V

FND4-2D-V

5.0

0.001%

0.0007-0.0015%

FND5-.5D-V

FND5-1D-V

FND5-2D-V

6.0

0.0001%

0.00007-0.00014%

FND6-.5D-V

FND6-1D-V

FND6-2D-V

注: すべてのVUV NDフィルターの基材はMgF 2です

UV NDフィルター:200-320 nm

光学密度

公称透過率

伝送距離

0.5 "パーツ番号

1.0 "パーツ番号

2.0 "パーツ番号

0.3

50%

42〜58%

FND0.3-.5D-M

FND0.3-1D-M

FND0.3-2D-M

0.5

30%

25〜35%

FND0.5-.5D-M

FND0.5-1D-M

FND0.5-2D-M

1.0

10%

8-12%

FND1-.5D-M

FND1-1D-M

FND1-2D-M

1.5

3.0%

2.5〜3.5%

FND1.5-.5D-M

FND1.5-1D-M

FND1.5-2D-M

2.0

1.0%

0.7-1.4%

FND2-.5D-M

FND2-1D-M

FND2-2D-M

3.0

0.1%

0.06-0.17%

FND3-.5D-M

FND3-1D-M

FND3-2D-M

4.0

0.01%

0.005-0.02%

FND4-.5D-M

FND4-1D-M

FND4-2D-M

5.0

0.001%

0.0007-0.0015%

FND5-.5D-M

FND5-1D-M

FND5-2D-M

6.0

0.0001%

0.00007-0.00014%

FND6-.5D-M

FND6-1D-M

FND6-2D-M

注: すべてのUV NDフィルター用の基材は溶融シリカです。

 

 

VUV/UV  ノッチ-反射フィルター

積層反射フィルターは、特定のVUVからUVの波長で高い反射率を持ち、より長波長のUVからIRの光を透過させる全誘電体の反射板です。45度のAOIで設計されています。
ピーク波長250nm以上のカスタムUVフィルターは、DUV-VUV透過率が~210nm以下のものがあります。

 
VUV / UV反射フィルター 入射角45°AOI

波長

ピーク反射率

1.0”パーツ番号

1.5”パーツ番号

2.0”パーツ番号

126nm

≥40%

M126-3045-1D

M126-3045-1.5D

M126-3045-2D

146nm

≥45%

M146-3045-1D

M146-3045-1.5D

M146-3045-2D

157nm

≥82%

M157-3045-1D

M157-3045-1.5D

M157-3045-2D

172nm

≥82%

M172-3045-1D

M172-3045-1.5D

M172-3045-2D

185nm

≥82%

M185-3045-1D

M185-3045-1.5D

M185-3045-2D

193nm

≥82%

M193-3045-1D

M193-3045-1.5D

M193-3045-2D

200nm

≥90%

M200-3045-1D

M200-3045-1.5D

M200-3045-2D

208nm

≥90%

M208-3045-1D

M208-3045-1.5D

M208-3045-2D

212nm

≥90%

M212-3045-1D

M212-3045-1.5D

M212-3045-2D

220nm

≥90%

M220-3045-1D

M220-3045-1.5D

M220-3045-2D

240nm

≥90%

M240-3045-1D

M240-3045-1.5D

M240-3045-2D

248nm

≥90%

M248-3045-1D

M248-3045-1.5D

M248-3045-2D

254nm

≥90%

M254-3045-1D

M254-3045-1.5D

M254-3045-2D

260nm

≥90%

M260-3045-1D

M260-3045-1.5D

M260-3045-2D

266nm

≥90%

M266-3045-1D

M266-3045-1.5D

M266-3045-2D

280nm

≥90%

M280-3045-1D

M280-3045-1.5D

M280-3045-2D

300nm

≥90%

M300-3045-1D

M300-3045-1.5D

M300-3045-2D

320nm

≥90%

M320-3045-1D

M320-3045-1.5D

M320-3045-2D

340nm

≥90%

M340-3045-1D

M340-3045-1.5D

M340-3045-2D

352nm

≥90%

M352-3045-1D

M352-3045-1.5D

M352-3045-2D

360nm

≥90%

M360-3045-1D

M360-3045-1.5D

M360-3045-2D

注:175nm以下のフィルターの基板材料はCaF 2および175nm以上は溶融シリカです



 

 

広帯域UV-NIR NDフィルター

⦿ 190 nmから1700 nmまでのユニークな広帯域ND性能
⦿ 0.3 ODから2.5 ODまでの様々な標準密度が利用可能
⦿ 1/10波長の優れた光透過性
⦿ 積み重ねることで、より深い密度を作ることが可能
⦿ カスタムサイズ、カスタム密度にも対応

広帯域UV-NIR減光フィルター

光学密度

公称透過

透過率

0.5 "パーツ番号

1.0 "パーツ番号

2.0 "パーツ番号

0.3

50%

47〜54%

FND0.3-.5D-BB

FND0.3-1D-BB

FND0.3-2D-BB

0.5

32%

28-35.5%

FND0.5-.5D-BB

FND0.5-1D-BB

FND0.5-2D-BB

1.0

10%

8-12.5%

FND1.0-.5D-BB

FND1.0-1D-BB

FND1.0-2D-BB

1.3

5.0%

4-6%

FND1.3-.5D-BB

FND1.3-1D-BB

FND1.3-2D-BB

1.5

3.0%

2.5〜4.5%

FND1.5-.5D-BB

FND1.5-1D-BB

FND1.5-2D-BB

2.0

1.0%

0.6-0.1.6%

FND2.0-.5D-BB

FND2.0-1D-BB

FND2.0-2D-BB

2.5

0.3%

0.24-0.36%

FND2.5-.5D-BB

FND2.5-1D-BB

FND2.5-2D-BB

 

仕様

 

材料

UV溶融シリカ

直径公差

+ 0.00 / -0.005”

厚さ公差

+/- 0.25mm

表面品質

1/10波@ 633nm両側

平行度

3分以上

スクラッチ/掘り

20-10

面取り

0.5mm x 45度

クリアアパーチャ

中央90%分

入射角

コーティング

ハイブリッドメタリック

ODトレランス

+/- 10%*

範囲

190-1700nm

* OD 2.5の場合は+/- 15%















 

ソーラーブラインド フィルター


米国の宇宙開発計画のために設計された、ユニークな「超広帯域」UV/VUVフィルターは、広い帯域のUV/VUV放射を分離するのに役立ちます。超広帯域(VBB)フィルターは、指定された帯域で平均10~20%の広帯域透過率を実現しています。
透過率は500nmで約5x10-3です。120nm付近の波長で基板が吸収されるため、一般的にカバーリングやエッジシールができないため、このオープンフェイスデザインのコーティング面に接触しないように注意する必要があります。モデル170-VBBはオープンフェイスで製造されていますが、コーティングされた表面を保護するためにカバーやエッジシールを施すことができます。

モデル120-VBB:120nm~250nmの平均透過率は10~20%
モデル170-VBB:170 nm - 300 nmでの平均透過率10-20%

アクトン標準フィルター ソーラーブラインドフィルター

波長範囲

平均透過率

0.5 "パーツ番号

1.0 "パーツ番号

2.0 "パーツ番号

120-250nm

10〜20%

FB120-VBB-0.5D

FB120-VBB-1D

FB120-VBB-2D

170-300nm

10〜20%

FB170-VBB-0.5D

FB170-VBB-1D

FB170-VBB-2D

注: 部品番号FB120-VBB、UVグレードMgF 2およびFB170-VBBの溶融シリカの基板材料