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LIDARSYSTEM
VUV/UVフィルター Teledyne Acton Optics
VUV/UV 狭帯域フィルター
アクトンの標準狭帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料で作られており、多くの研究および産業用途で使用されています。
フィルターは出荷前に視覚的および光学的に検査され、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線が含まれています。詳細な「拒否」曲線は、製造時に購入できます。画質フィルターと同様に、他の波長とサイズも利用できます。
狭帯域VUV / UV光学フィルター
|
ピーク波長 |
FWHM |
最小 ピーク |
直径0.5 |
1.0 "直径 |
2.0 "直径 |
|---|---|---|---|---|---|
|
122 +/- 2.5 nm |
最大10 |
5％ |
FN122-XN-.5D |
FN122-XN-1D |
FN122-XN-2D |
|
122 +/- 2.5 nm |
最大15 |
10％ |
FN122-VN-.5D |
FN122-VN-1D |
FN122-VN-2D |
|
最大20 |
15％ |
FN122-N-.5D |
FN122-N-1D |
FN122-N-2D |
|
|
126 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN126-N-.5D |
FN126-N-1D |
FN126-N-2D |
|
130 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN130-N-.5D |
FN130-N-1D |
FN130-N-2D |
|
135 +/- 2.5nm |
20 +/- 7.5 |
15％ |
FN135-N-.5D |
FN135-N-1D |
FN135-N-2D |
|
140 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN140-N-.5D |
FN140-N-1D |
FN140-N-2D |
|
20 +/- 7.5 |
15％ |
FN147-N-.5D |
FN147-N-1D |
FN147-N-2D |
|
|
150 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN150-N-.5D |
FN150-N-1D |
FN150-N-2D |
|
155 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
12％ |
FN155-N-.5D |
FN155-N-1D |
FN155-N-2D |
|
157 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
12％ |
FN157-N-.5D |
FN157-N-1D |
FN157-N-2D |
|
160 +/- 2.5nm |
20 +/- 7.5 |
12％ |
FN160-N-.5D |
FN160-N-1D |
FN160-N-2D |
|
20 +/- 7.5 |
15％ |
FN172-N-.5D |
FN172-N-1D |
FN172-N-2D |
|
|
180 +/- 2.5nm |
20 +/- 7.5 |
15％ |
FN180-N-.5D |
FN180-N-1D |
FN180-N-2D |
|
20 +/- 7.5 |
15％ |
FN185-N-.5D |
FN185-N-1D |
FN185-N-2D |
|
|
185 +/- 2.5nm |
20 +/- 7.5 |
10％ |
FN185-HR-.5D |
FN185-HR-1D |
FN185-HR-2D |
|
190 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN190-N-.5D |
FN190-N-1D |
FN190-N-2D |
|
193 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN193-N-.5D |
FN193-N-1D |
FN193-N-2D |
|
200 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN200-N-.5D |
FN200-N-1D |
FN200-N-2D |
|
205 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN205-N-.5D |
FN205-N-1D |
FN205N-2D |
|
210 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN205-N-.5D |
FN205-N-1D |
FN205-N-2D |
|
20 +/- 5 |
15％ |
FN214-N-.5D |
FN214-N-1D |
FN214-N-2D |
|
|
220 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN220-N-.5D |
FN220-N-1D |
FN220-N-2D |
|
222 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN222-N-.5D |
FN222-N-1D |
FN222-N-2D |
|
230 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN230-N-.5D |
FN230-N-1D |
FN230-N-2D |
|
240 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN240-N-.5D |
FN240-N-1D |
FN240-N-2D |
|
20 +/- 5 |
15％ |
FN250-N-.5D |
FN250-N-1D |
FN250-N-2D |
|
|
254 +/- 2.5nm |
20 +/- 5 |
15％ |
FN254-N-.5D |
FN254-N-1D |
FN254-N-2D |
320nmまでの全波長に対応しています。FWHM、ピーク透過率、ピーク波長の仕様は、上記のピーク波長の範囲内です。
.jpg)
UV バンドパス フィルター
標準バンド パス フィルタの設計例
オープンフェイス
オープンフェイスデザインは、片面に光学フィルターコーティングが施された基板です。オープンフェイスのフィルターは、ソフトなフィルターコーティングが露出しているため、取り扱いには注意が必要です。
湿気や大気汚染、取り扱いによるダメージを軽減するために、以下のような保護用の石英カバーでフィルターを密閉することができます（190nm以上のみ）。
カバーウインドウ/エッジシール
190nm以上のフィルターには、保護目的のために溶融シリカのカバーが付いている場合があります。図に示すように、スペーサーリングを基板間に配置して小さなエアギャップを形成した後、エッジをシールします。これにより、繊細なフィルターコーティングに触れることなく、フィルターを取り扱うことができます。なお、フィルターを覆うことで透過率は2〜3％低下します。
エッジシールを行うと、フィルターの直径が約0.010インチ（0.254mm）増加します。カバーリングとエッジシールを施したフィルターの総厚さは、オープンフェイスの場合の約2倍になります。正確な寸法はオプティクス営業部にお問い合わせください。
マウント
オープンフェイスまたはカバー付きのフィルター（エッジシーラントなし）は、必要に応じて金属製のマウントリングで提供できます。このリングはアルミニウム製で、黒アルマイト処理されています。フィルターを装着すると、以下のように開口部が小さくなり、外径が大きくなります。
N、-B、-W、-VBBフィルターの直径情報
注：特に指定のない限り、フィルターはオープンフェイスで提供されます。
* 2.0インチ径の122-157nmフィルターは5mm厚です。
| Unmounted Filter Diameter |
Diameter Tolerance |
Mounted Filter Diameter ±0.005” |
Unmounted Filter Thickness |
Mounted Thickness |
Clear Aperture |
|---|---|---|---|---|---|
| 0.5” (12.7mm) | +0.00”/-0.005” (0.127mm) | 0.625” (15.88mm) | 0.079" (2mm) | 0.300” (7.62mm) | 0.450” (11.43mm) |
| 1.0” (25.4mm) | +0.00”/-0.005” (0.127mm) | 1.200” (30.48mm) | 0.098" (2.5mm) | 0.375” (9.53mm) | 0.800” (20.32mm) |
| 2.0” (50.8mm) | +0.00”/-0.005” (0.127mm) | 2.225” (56.52mm) | 0.197" (4mm) | 0.500” (12.7mm) | 1.900” (48.26mm) |
フィルター素材情報
| Wavelengths | < 140nm | 140-169nm | 170-320nm |
|---|---|---|---|
| Substrate Material | VUV MgF2 | VUV CaF2 | UV Grade Fused Silica |
VUV / UV ブロードバンド フィルター
アクトンの標準的な広帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料から作られており、多くの研究および産業用途に使用されています。
フィルターは、出荷前に目視と光学検査を行い、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線を含んでいます。また、詳細な "rejection "カーブを製造時に購入することも可能です。他の波長やサイズ、高画質フィルターもご用意しています。
ブロードバンドVUV / UV光学フィルター
|
ピーク |
FWHM |
最小 ピーク |
0.5 "直径 |
1.0”直径 |
2.0”直径 |
|---|---|---|---|---|---|
|
130 +/- 5nm |
40 +/- 10 |
30％ |
FB130-B-.5D |
FB130-B-1D |
FB130-B-2D |
|
140 +/- 5nm |
60 +/- 10 |
30％ |
FB140-B-.5D |
FB140-B-1D |
FB140-B-2D |
|
150 +/- 5nm |
60 +/- 10 |
30％ |
FB150-B-.5D |
FB150-B-1D |
FB150-B-2D |
|
40 +/- 10 |
30％ |
FB180-B-.5D |
FB180-B-1D |
FB180B-2D |
|
|
190 +/- 5nm |
35 +/- 10 |
30％ |
FB190-B-.5D |
FB190-B-1D |
FB190B-2D |
|
35 +/- 10 |
30％ |
FB200-B-.5D |
FB200-B-1D |
FB200-B-2D |
|
|
210 +/- 5nm |
35 +/- 10 |
30％ |
FB210-B-.5D |
FB210-B-1D |
FB210-B-2D |
|
214 +/- 5nm |
35 +/- 10 |
30％ |
FB214-B-.5D |
FB214-B-1D |
FB214-B-2D |
|
220 +/- 5nm |
35 +/- 10 |
30％ |
FB220-B-.5D |
FB220-B-1D |
FB220-B-2D |
|
230 +/- 5nm |
35 +/- 10 |
30％ |
FB230-B-.5D |
FB230-B-1D |
FB230-B-2D |
|
240 +/- 5nm |
35 +/- 10 |
30％ |
FB240-B-.5D |
FB240-B-1D |
FB240-B-2D |
|
250 +/- 5nm |
40 +/- 10 |
30％ |
FB250-B-.5D |
FB250-B-1D |
FB250-B-2D |
|
40 +/- 10 |
30％ |
FB254-B-.5D |
FB254-B-1D |
FB254-B-2D |
320nmまでの全波長に対応しています。FWHM、ピーク透過率、ピーク波長の仕様は、上記のピーク波長の範囲内です。
.jpg)
VUV / UV ワイド バンド フィルター
アクトンの標準的な広帯域光学フィルターは、最高品質の光学材料から作られており、多くの研究および産業用途に使用されています。
フィルターは、出荷前に目視と光学検査を行い、各フィルターの性能特性を示す個別の透過率曲線を含んでいます。また、詳細な "rejection "カーブを製造時に購入することも可能です。他の波長やサイズ、高画質フィルターもご用意しています。
広帯域VUV / UV光学フィルター
|
ピーク |
FWHM |
最小 ピーク |
0.5 "直径 |
1.0”直径 |
2.0”直径 |
|---|---|---|---|---|---|
|
100 +/- 25 |
40％ |
FW130-W-.5D |
FW130-W-1D |
FW130-W-2D |
|
|
160 +/- 10nm |
100 +/- 25 |
45％ |
FW160-W-.5D |
FW160-W-1D |
FW160-W-2D |
|
200 +/- 10nm |
60 +/- 20 |
45％ |
FW200-W-.5D |
FW200-W-1D |
FW200-W-2D |
|
250 +/- 10nm |
80 +/- 20 |
45％ |
FW250-W-.5D |
FW250-W-1D |
FW250-W-2D |
|
300 +/- 10nm |
100 +/- 25 |
45％ |
FW300-W-.5D |
FW300-W-1D |
FW300-W-2D |
VUV/UV NDフィルター
Teledyne Acton OpticsのVUVニュートラルデンシティフィルターは、金属フィルムに誘電体の保護層を重ねたものである。120nm～200nmの領域の濃度は、このフィルムの透過率、反射率、吸収率の組み合わせで決まります。また、200nm〜320nmの紫外波長域用の中性濃度フィルターもラインナップしています。
120nm～200nmの透過率を個別に校正し、透過率曲線を添付しています。ND5およびND6フィルターは特注品です。160.8nmや253.7nmなどの強いスペクトル線でのみ校正されています。VUVフィルターはUVグレードのMgF2にコーティング、UVフィルターはUVグレードのフューズドシリカにコーティングして提供しています。
VUV NDフィルター：120-200 nm
|
光学密度 |
公称透過率 |
透過率 |
0.5 "パーツ番号 |
1.0 "パーツ番号 |
2.0 "パーツ番号 |
|---|---|---|---|---|---|
|
0.3 |
50％ |
42〜58％ |
FND0.3-.5D-V |
FND0.3-1D-V |
FND0.3-2D-V |
|
0.5 |
30％ |
25〜35％ |
FND0.5-.5D-V |
FND0.5-1D-V |
FND0.5-2D-V |
|
1.0 |
10％ |
8-12％ |
FND1-.5D-V |
FND1-1D-V |
FND1-2D-V |
|
1.5 |
3.0％ |
2.5〜3.5％ |
FND1.5-.5D-V |
FND1.5-1D-V |
FND1.5-2D-V |
|
2.0 |
1.0％ |
0.7-1.4％ |
FND2-.5D-V |
FND2-1D-V |
FND2-2D-V |
|
3.0 |
0.1％ |
0.06-0.17％ |
FND3-.5D-V |
FND3-1D-V |
FND3-2D-V |
|
4.0 |
0.01％ |
0.005-0.02％ |
FND4-.5D-V |
FND4-1D-V |
FND4-2D-V |
|
5.0 |
0.001％ |
0.0007-0.0015％ |
FND5-.5D-V |
FND5-1D-V |
FND5-2D-V |
|
6.0 |
0.0001％ |
0.00007-0.00014％ |
FND6-.5D-V |
FND6-1D-V |
FND6-2D-V |
注： すべてのVUV NDフィルターの基材はMgF 2です
UV NDフィルター：200-320 nm
|
光学密度 |
公称透過率 |
伝送距離 |
0.5 "パーツ番号 |
1.0 "パーツ番号 |
2.0 "パーツ番号 |
|---|---|---|---|---|---|
|
0.3 |
50％ |
42〜58％ |
FND0.3-.5D-M |
FND0.3-1D-M |
FND0.3-2D-M |
|
0.5 |
30％ |
25〜35％ |
FND0.5-.5D-M |
FND0.5-1D-M |
FND0.5-2D-M |
|
1.0 |
10％ |
8-12％ |
FND1-.5D-M |
FND1-1D-M |
FND1-2D-M |
|
1.5 |
3.0％ |
2.5〜3.5％ |
FND1.5-.5D-M |
FND1.5-1D-M |
FND1.5-2D-M |
|
2.0 |
1.0％ |
0.7-1.4％ |
FND2-.5D-M |
FND2-1D-M |
FND2-2D-M |
|
3.0 |
0.1％ |
0.06-0.17％ |
FND3-.5D-M |
FND3-1D-M |
FND3-2D-M |
|
4.0 |
0.01％ |
0.005-0.02％ |
FND4-.5D-M |
FND4-1D-M |
FND4-2D-M |
|
5.0 |
0.001％ |
0.0007-0.0015％ |
FND5-.5D-M |
FND5-1D-M |
FND5-2D-M |
|
6.0 |
0.0001％ |
0.00007-0.00014％ |
FND6-.5D-M |
FND6-1D-M |
FND6-2D-M |
注： すべてのUV NDフィルター用の基材は溶融シリカです。
VUV/UV ノッチ-反射フィルター
積層反射フィルターは、特定のVUVからUVの波長で高い反射率を持ち、より長波長のUVからIRの光を透過させる全誘電体の反射板です。45度のAOIで設計されています。
ピーク波長250nm以上のカスタムUVフィルターは、DUV-VUV透過率が～210nm以下のものがあります。
VUV / UV反射フィルター 入射角45°AOI
|
波長 |
ピーク反射率 |
1.0”パーツ番号 |
1.5”パーツ番号 |
2.0”パーツ番号 |
|---|---|---|---|---|
|
126nm |
≥40％ |
M126-3045-1D |
M126-3045-1.5D |
M126-3045-2D |
|
146nm |
≥45％ |
M146-3045-1D |
M146-3045-1.5D |
M146-3045-2D |
|
157nm |
≥82％ |
M157-3045-1D |
M157-3045-1.5D |
M157-3045-2D |
|
172nm |
≥82％ |
M172-3045-1D |
M172-3045-1.5D |
M172-3045-2D |
|
185nm |
≥82％ |
M185-3045-1D |
M185-3045-1.5D |
M185-3045-2D |
|
193nm |
≥82％ |
M193-3045-1D |
M193-3045-1.5D |
M193-3045-2D |
|
≥90％ |
M200-3045-1D |
M200-3045-1.5D |
M200-3045-2D |
|
|
208nm |
≥90％ |
M208-3045-1D |
M208-3045-1.5D |
M208-3045-2D |
|
212nm |
≥90％ |
M212-3045-1D |
M212-3045-1.5D |
M212-3045-2D |
|
220nm |
≥90％ |
M220-3045-1D |
M220-3045-1.5D |
M220-3045-2D |
|
240nm |
≥90％ |
M240-3045-1D |
M240-3045-1.5D |
M240-3045-2D |
|
248nm |
≥90％ |
M248-3045-1D |
M248-3045-1.5D |
M248-3045-2D |
|
254nm |
≥90％ |
M254-3045-1D |
M254-3045-1.5D |
M254-3045-2D |
|
260nm |
≥90％ |
M260-3045-1D |
M260-3045-1.5D |
M260-3045-2D |
|
266nm |
≥90％ |
M266-3045-1D |
M266-3045-1.5D |
M266-3045-2D |
|
280nm |
≥90％ |
M280-3045-1D |
M280-3045-1.5D |
M280-3045-2D |
|
300nm |
≥90％ |
M300-3045-1D |
M300-3045-1.5D |
M300-3045-2D |
|
320nm |
≥90％ |
M320-3045-1D |
M320-3045-1.5D |
M320-3045-2D |
|
340nm |
≥90％ |
M340-3045-1D |
M340-3045-1.5D |
M340-3045-2D |
|
352nm |
≥90％ |
M352-3045-1D |
M352-3045-1.5D |
M352-3045-2D |
|
360nm |
≥90％ |
M360-3045-1D |
M360-3045-1.5D |
M360-3045-2D |
注：175nm以下のフィルターの基板材料はCaF 2および175nm以上は溶融シリカです
広帯域UV-NIR NDフィルター
⦿ 190 nmから1700 nmまでのユニークな広帯域ND性能
⦿ 0.3 ODから2.5 ODまでの様々な標準密度が利用可能
⦿ 1/10波長の優れた光透過性
⦿ 積み重ねることで、より深い密度を作ることが可能
⦿ カスタムサイズ、カスタム密度にも対応
広帯域UV-NIR減光フィルター
|
光学密度 |
公称透過 |
透過率 |
0.5 "パーツ番号 |
1.0 "パーツ番号 |
2.0 "パーツ番号 |
|---|---|---|---|---|---|
|
0.3 |
50％ |
47〜54％ |
FND0.3-.5D-BB |
FND0.3-1D-BB |
FND0.3-2D-BB |
|
0.5 |
32％ |
28-35.5％ |
FND0.5-.5D-BB |
FND0.5-1D-BB |
FND0.5-2D-BB |
|
1.0 |
10％ |
8-12.5％ |
FND1.0-.5D-BB |
FND1.0-1D-BB |
FND1.0-2D-BB |
|
1.3 |
5.0％ |
4-6％ |
FND1.3-.5D-BB |
FND1.3-1D-BB |
FND1.3-2D-BB |
|
1.5 |
3.0％ |
2.5〜4.5％ |
FND1.5-.5D-BB |
FND1.5-1D-BB |
FND1.5-2D-BB |
|
2.0 |
1.0％ |
0.6-0.1.6％ |
FND2.0-.5D-BB |
FND2.0-1D-BB |
FND2.0-2D-BB |
|
2.5 |
0.3％ |
0.24-0.36％ |
FND2.5-.5D-BB |
FND2.5-1D-BB |
FND2.5-2D-BB |
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仕様： |
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材料 |
UV溶融シリカ |
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直径公差 |
+ 0.00 / -0.005” |
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厚さ公差 |
+/- 0.25mm |
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表面品質 |
1/10波@ 633nm両側 |
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平行度 |
3分以上 |
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スクラッチ/掘り |
20-10 |
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面取り |
0.5mm x 45度 |
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クリアアパーチャ |
中央90％分 |
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入射角 |
0° |
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コーティング |
ハイブリッドメタリック |
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ODトレランス |
+/- 10％* |
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範囲 |
190-1700nm |
* OD 2.5の場合は+/- 15％
ソーラーブラインド フィルター
米国の宇宙開発計画のために設計された、ユニークな「超広帯域」UV/VUVフィルターは、広い帯域のUV/VUV放射を分離するのに役立ちます。超広帯域（VBB）フィルターは、指定された帯域で平均10～20%の広帯域透過率を実現しています。
透過率は500nmで約5x10-3です。120nm付近の波長で基板が吸収されるため、一般的にカバーリングやエッジシールができないため、このオープンフェイスデザインのコーティング面に接触しないように注意する必要があります。モデル170-VBBはオープンフェイスで製造されていますが、コーティングされた表面を保護するためにカバーやエッジシールを施すことができます。
モデル120-VBB：120nm～250nmの平均透過率は10～20%
モデル170-VBB：170 nm - 300 nmでの平均透過率10-20%
アクトン標準フィルター ソーラーブラインドフィルター
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波長範囲 |
平均透過率 |
0.5 "パーツ番号 |
1.0 "パーツ番号 |
2.0 "パーツ番号 |
|---|---|---|---|---|
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10〜20％ |
FB120-VBB-0.5D |
FB120-VBB-1D |
FB120-VBB-2D |
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10〜20％ |
FB170-VBB-0.5D |
FB170-VBB-1D |
FB170-VBB-2D |
注： 部品番号FB120-VBB、UVグレードMgF 2およびFB170-VBBの溶融シリカの基板材料
